Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. /

Bibliografische gegevens
Coauteur: United States. Air Force. Office of Scientific Research
Andere auteurs: Osgood, R. M., ed, Brueck, S. R. J., ed, Schlossberg, H. R., ed
Formaat: Printed Book
Taal:English
Gepubliceerd in: New York : North-Holland, c1983.
Reeks:Material research society symposia proceedings; v. 17
Onderwerpen:
Lasers--Industrial applications--Congresses. > Semiconductors--Congresses.
Omschrijving
Beschrijving item:"Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso.
Fysieke beschrijving:xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0444007822

Gelijkaardige items