Lataa...
Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. /
| Yhteisötekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , , |
| Aineistotyyppi: | Printed Book |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
New York :
North-Holland,
c1983.
|
| Sarja: | Material research society symposia proceedings;
v. 17 |
| Aiheet: |
| Huomautukset: | "Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso. |
|---|---|
| Ulkoasu: | xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm. |
| ISBN: | 0444007822 |