Загрузка...
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | Printed Book |
Язык: | English |
Опубликовано: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
|
Серии: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
Предметы: |
PHY
Шифр: |
621.36/6 BOY |
---|---|
Копировать | Недоступно состояние Live" What does mean the status Live (working) |