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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
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| Colecção: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
| Assuntos: |
PHY
| Área/Cota: |
621.36/6 BOY |
|---|---|
| Cód. Barras: | Informação em tempo real indisponível |