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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
| Autore principale: | |
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| Natura: | Printed Book |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
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| Serie: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
| Soggetti: |
PHY
| Collocazione: |
621.36/6 BOY |
|---|---|
| Copia | Status in tempo reale non disponibile |