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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Boyd, Ian W.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Berlin ; Springer-Verlag, c1987.
Schriftenreihe:Springer series in materials science ; v. 3.
Schlagworte:

PHY

Bestandesangaben von PHY
Signatur: 621.36/6 BOY
Exemplar Live-Status nicht verfügbar