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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
1. Verfasser: | |
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Format: | Printed Book |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
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Schriftenreihe: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
Schlagworte: |
PHY
Signatur: |
621.36/6 BOY |
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Exemplar | Live-Status nicht verfügbar |