Загрузка...
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Printed Book |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
|
| Серии: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
| Предметы: |