Lataa...
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Printed Book |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
|
| Sarja: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
| Aiheet: |