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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /

書目詳細資料
主要作者: Boyd, Ian W.
格式: Printed Book
語言:English
出版: Berlin ; Springer-Verlag, c1987.
叢編:Springer series in materials science ; v. 3.
主題:
實物特徵
實物描述:viii, 320 p. : 77 ill. ; 24 cm.
ISBN:0387179518