Đang tải...
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Printed Book |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
|
| Loạt: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
| Những chủ đề: |
| Mô tả vật lý: | viii, 320 p. : 77 ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| số ISBN: | 0387179518 |