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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
| 第一著者: | |
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| フォーマット: | Printed Book |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
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| シリーズ: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
| 主題: |
| 物理的記述: | viii, 320 p. : 77 ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 0387179518 |