Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Boyd, Ian W.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Berlin ; Springer-Verlag, c1987.
Schriftenreihe:Springer series in materials science ; v. 3.
Schlagworte:
Lasers > Industrial applications
Beschreibung
Beschreibung:viii, 320 p. : 77 ill. ; 24 cm.
ISBN:0387179518

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