Carregant...
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators /
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicat: |
Berlin ;
Springer-Verlag,
c1987.
|
| Col·lecció: | Springer series in materials science ;
v. 3. |
| Matèries: |
| Descripció física: | viii, 320 p. : 77 ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 0387179518 |