Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Stuart, R. V.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York : Academic Press, 1983.
Schlagworte:
Vacuum technology > Thin films > Cathode sputtering (Plating process)
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Vacuum Technology , Thin Films , and Sputtering , an Introduction
von Stuart , R. V
Veröffentlicht 1983
Printed Book
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Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction /
von Stuart, R. V.
Veröffentlicht 1983
Printed Book
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