Carregant...
Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction /
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicat: |
New York :
Academic Press,
1983.
|
| Matèries: |
| Descripció física: | viii, 151 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 0126747806 |