Glocker, D. A., Shah, S. I., & Westwood, W. D. (1995). Handbook of thin film process technology. Institute of Physics Pub..
Citação norma ChicagoGlocker, David A., S. Ismat Shah, and William D. Westwood. Handbook of Thin Film Process Technology. Bristol, UK ; Philadelphia: Institute of Physics Pub., 1995.
Citação norma MLAGlocker, David A., et al. Handbook of Thin Film Process Technology. Institute of Physics Pub., 1995.
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