Microelectronic polymers

Библиографические подробности
Главный автор: Htoo, Maung S. (Автор)
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: New York M. Dekker 1989.
Предметы:
Polymers > Microlithography--Materials > Microelectronics--Materials. > Polymers-application > Microelectronics-materials > Polymers-application in microelectronics > Lithographic polymers
Описание
Объем:ix, 407 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0824779908

Схожие документы