Microelectronic polymers

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Htoo, Maung S. (Author)
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: New York M. Dekker 1989.
Assuntos:
Polymers > Microlithography--Materials > Microelectronics--Materials. > Polymers-application > Microelectronics-materials > Polymers-application in microelectronics > Lithographic polymers
Descrição
Descrição Física:ix, 407 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0824779908

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