Microelectronic polymers

Détails bibliographiques
Auteur principal: Htoo, Maung S. (Auteur)
Format: Printed Book
Langue:English
Publié: New York M. Dekker 1989.
Sujets:
Polymers > Microlithography--Materials > Microelectronics--Materials. > Polymers-application > Microelectronics-materials > Polymers-application in microelectronics > Lithographic polymers
Description
Description matérielle:ix, 407 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0824779908

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