Microelectronic polymers

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Htoo, Maung S. (Tekijä)
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: New York M. Dekker 1989.
Aiheet:
Polymers > Microlithography--Materials > Microelectronics--Materials. > Polymers-application > Microelectronics-materials > Polymers-application in microelectronics > Lithographic polymers
Kuvaus
Ulkoasu:ix, 407 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0824779908

Samankaltaisia teoksia