Microelectronic polymers

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Htoo, Maung S. (VerfasserIn)
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York M. Dekker 1989.
Schlagworte:
Polymers > Microlithography--Materials > Microelectronics--Materials. > Polymers-application > Microelectronics-materials > Polymers-application in microelectronics > Lithographic polymers
Beschreibung
Beschreibung:ix, 407 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0824779908

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