Microelectronic polymers

書誌詳細
第一著者: Htoo, Maung S. (著者)
フォーマット: Printed Book
言語:English
出版事項: New York M. Dekker 1989.
主題:
Polymers > Microlithography--Materials > Microelectronics--Materials. > Polymers-application > Microelectronics-materials > Polymers-application in microelectronics > Lithographic polymers
その他の書誌記述
物理的記述:ix, 407 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0824779908

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