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Laser microfabrication : thin film processes and lithography

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ehrlich, Daniel, J.
Weitere Verfasser: Tsao, Jeffrey, Y.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Sandiego, Academic Press, 1989
Schlagworte:

ISP

Bestandesangaben von ISP
Signatur: 535.574 DAN
Exemplar Live-Status nicht verfügbar