Santos, H. J. d. l. (2005). Principles and applications of NanoMEMS physics. Springer.
Chicago ZitierstilSantos, Héctor J. de los. Principles and Applications of NanoMEMS Physics. Dordrecht, The Netherlands: Springer, 2005.
MLA ZitierstilSantos, Héctor J. de los. Principles and Applications of NanoMEMS Physics. Springer, 2005.
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