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    Photonic MEMS devices : design, fabrication and control /
    von Liu, Ai-Qun
    Veröffentlicht 2009
    Volltext
    Printed Book
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    Photonic MEMS devices design,fabrication and control
    von Liu, Ai-Qun...[et.al]
    Veröffentlicht 2009
    Printed Book
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